現(xiàn)代芯片技術(shù)的起源可以追溯到1947年貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明的晶體管,這個(gè)比指甲蓋還小的元件徹底改變了電子設(shè)備的形態(tài)。早期的晶體管采用鍺材料制造,直到1954年德州儀器開(kāi)發(fā)出首款硅晶體管,奠定了現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。硅材料的優(yōu)勢(shì)在于其穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)、豐富的儲(chǔ)量以及優(yōu)異的半導(dǎo)體特性,這使得硅成為芯片制造的主流材料至今。隨著光刻技術(shù)的突破,1960年代集成電路開(kāi)始量產(chǎn),英特爾創(chuàng)始人戈登·摩爾在1965年提出的"摩爾定律"——芯片上晶體管數(shù)量每1824個(gè)月翻一番,成為整個(gè)行業(yè)發(fā)展的黃金準(zhǔn)則。
當(dāng)今最先進(jìn)的芯片制造工藝已進(jìn)入3納米時(shí)代,這相當(dāng)于將300個(gè)原子排列在一起的寬度。極紫外光刻(EUV)技術(shù)是這一突破的關(guān)鍵,它使用波長(zhǎng)僅13.5納米的極紫外光在硅晶圓上刻畫(huà)出比病毒還精細(xì)的電路圖案。臺(tái)積電、三星等代工廠的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到ISO 1級(jí),意味著每立方米空氣中直徑大于0.1微米的顆粒不超過(guò)10個(gè)。芯片制造涉及超過(guò)1000道工序,從晶圓制備、光刻、蝕刻、離子注入到金屬互連,整個(gè)過(guò)程需要1520周。7納米工藝芯片的晶體管密度可達(dá)每平方毫米1億個(gè),而3納米工藝將這個(gè)數(shù)字提升至2.5億,這使得現(xiàn)代處理器能在指甲蓋大小的面積內(nèi)集成超過(guò)200億個(gè)晶體管。
隨著摩爾定律逼近物理極限,芯片設(shè)計(jì)從單純追求制程微縮轉(zhuǎn)向架構(gòu)創(chuàng)新。CPU、GPU、TPU、NPU等專(zhuān)用處理單元的組合形成了異構(gòu)計(jì)算架構(gòu)。蘋(píng)果M系列芯片采用統(tǒng)一內(nèi)存架構(gòu),將CPU、GPU和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)引擎集成在單一芯片上,內(nèi)存帶寬提升至400GB/s以上。神經(jīng)形態(tài)芯片模仿人腦突觸結(jié)構(gòu),IBM的TrueNorth芯片包含100萬(wàn)個(gè)神經(jīng)元和2.56億個(gè)突觸,功耗僅70毫瓦。量子芯片則利用量子比特的疊加態(tài)實(shí)現(xiàn)并行計(jì)算,谷歌的Sycamore處理器在200秒內(nèi)完成傳統(tǒng)超級(jí)計(jì)算機(jī)需要1萬(wàn)年才能完成的任務(wù)。這些創(chuàng)新正在重塑從移動(dòng)設(shè)備到數(shù)據(jù)中心的整個(gè)計(jì)算生態(tài)。
二維材料如石墨烯、過(guò)渡金屬硫化物(MoS2)展現(xiàn)出突破硅基限制的潛力。石墨烯的電子遷移率是硅的200倍,厚度僅0.34納米,理論上可制造出超高頻低功耗芯片。碳納米管晶體管已被IBM實(shí)驗(yàn)室證明可在5納米節(jié)點(diǎn)下工作,性能提升10倍。第三代半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)在高壓、高溫環(huán)境下表現(xiàn)優(yōu)異,已成為電動(dòng)汽車(chē)和5G基站功率器件的首選。英特爾最新研發(fā)的堆疊互補(bǔ)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(CFET)將n型和p型晶體管垂直堆疊,有望將晶體管密度再提升3050%。這些新材料和新結(jié)構(gòu)將為后摩爾時(shí)代提供持續(xù)創(chuàng)新的動(dòng)力。
全球芯片產(chǎn)業(yè)已形成設(shè)計(jì)(美國(guó))、制造(東亞)、封裝測(cè)試(東南亞)的跨國(guó)分工體系。臺(tái)積電獨(dú)占全球54%的晶圓代工市場(chǎng),ASML壟斷EUV光刻機(jī)供應(yīng),日本掌控光刻膠等19種關(guān)鍵材料。美國(guó)《芯片與科學(xué)法案》投入527億美元扶持本土半導(dǎo)體制造,歐盟推出430億歐元的《歐洲芯片法案》。中國(guó)已實(shí)現(xiàn)14納米工藝量產(chǎn),長(zhǎng)江存儲(chǔ)的3D NAND閃存技術(shù)達(dá)到232層。地緣政治導(dǎo)致的技術(shù)脫鉤風(fēng)險(xiǎn)正在重塑供應(yīng)鏈,各大經(jīng)濟(jì)體都在建設(shè)自主可控的芯片產(chǎn)業(yè)生態(tài)。這種重構(gòu)將影響從智能手機(jī)到汽車(chē)等所有電子產(chǎn)品的成本結(jié)構(gòu)和供應(yīng)穩(wěn)定性。
光子芯片利用光信號(hào)代替電信號(hào)傳輸數(shù)據(jù),傳輸速度可達(dá)100Gbps以上,能耗降低90%。生物芯片將活體神經(jīng)元與電子電路結(jié)合,中科院已開(kāi)發(fā)出能識(shí)別氣味的大腦類(lèi)器官芯片。自旋電子學(xué)器件利用電子自旋而非電荷存儲(chǔ)信息,可實(shí)現(xiàn)非易失性內(nèi)存和超低功耗計(jì)算。全球研發(fā)中的3D芯片堆疊技術(shù)有望突破1000層互連,使芯片從平面走向立體。隨著AI、物聯(lián)網(wǎng)、元宇宙等新興技術(shù)的爆發(fā),到2030年全球芯片市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)突破1萬(wàn)億美元,芯片技術(shù)將繼續(xù)作為數(shù)字文明的基礎(chǔ)設(shè)施推動(dòng)人類(lèi)社會(huì)的變革。
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