從1947年貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明晶體管開始,芯片技術(shù)經(jīng)歷了從微米級(jí)到納米級(jí)的跨越式發(fā)展。第一代硅基芯片采用平面工藝,集成度每18個(gè)月翻倍的摩爾定律主導(dǎo)了半個(gè)世紀(jì)的技術(shù)演進(jìn)?,F(xiàn)代7nm制程芯片已能在指甲蓋大小的面積上集成數(shù)百億晶體管,這背后是極紫外光刻(EUV)、FinFET立體結(jié)構(gòu)等突破性技術(shù)的支撐。2023年臺(tái)積電量產(chǎn)的3nm芯片采用創(chuàng)新的GAA晶體管架構(gòu),使芯片性能提升15%的同時(shí)降低30%功耗。
硅基芯片正面臨物理極限挑戰(zhàn),第三代半導(dǎo)體材料如碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)展現(xiàn)出巨大潛力。SiC芯片能承受600℃高溫和10倍于硅的擊穿電壓,已廣泛應(yīng)用于特斯拉電動(dòng)汽車的功率模塊。而GaN芯片的電子遷移率是硅的1000倍,使5G基站射頻器件效率提升40%。更前沿的二維材料如石墨烯晶體管,理論上可實(shí)現(xiàn)0.1nm的溝道長度,IBM實(shí)驗(yàn)室已成功制備出運(yùn)算速度達(dá)100GHz的石墨烯芯片原型。
現(xiàn)代芯片制造包含1500多道工序,其中光刻技術(shù)決定最小線寬。ASML的EUV光刻機(jī)使用13.5nm波長的極紫外光,通過多層反射鏡系統(tǒng)將電路圖案投射到硅片,單臺(tái)設(shè)備售價(jià)超1.5億歐元。薄膜沉積工序中,原子層沉積(ALD)技術(shù)可精確控制單原子層厚度,英特爾在10nm工藝中應(yīng)用鈷互連技術(shù)使導(dǎo)線電阻降低60%。而自對(duì)準(zhǔn)四重成像(SAQP)技術(shù)讓14nm工藝實(shí)現(xiàn)等效7nm的晶體管密度。
隨著摩爾定律放緩,3D封裝成為延續(xù)算力增長的新路徑。臺(tái)積電的CoWoS技術(shù)將邏輯芯片與HBM內(nèi)存垂直堆疊,使數(shù)據(jù)傳輸距離縮短至微米級(jí),NVIDIA的H100 GPU借此實(shí)現(xiàn)900GB/s的超高帶寬。英特爾推出的Foveros 3D封裝采用微凸塊技術(shù),實(shí)現(xiàn)36微米間距的芯片互連。更革命性的晶圓級(jí)封裝(WLP)可直接在硅中介層上集成光子器件,為下一代光計(jì)算芯片奠定基礎(chǔ)。
在人工智能領(lǐng)域,專用AI芯片如谷歌TPU采用脈動(dòng)陣列架構(gòu),其矩陣運(yùn)算效率達(dá)傳統(tǒng)GPU的30倍。量子芯片方面,IBM的127量子位處理器"鷹"已實(shí)現(xiàn)量子體積1024。生物芯片正在醫(yī)療診斷領(lǐng)域大放異彩,Illumina的DNA測(cè)序芯片可單次完成全基因組測(cè)序。而存算一體芯片打破馮·諾依曼架構(gòu)瓶頸,清華大學(xué)研發(fā)的憶阻器芯片使神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計(jì)算能效比提升1000倍。
當(dāng)前全球芯片產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)三足鼎立態(tài)勢(shì):美國主導(dǎo)EDA工具和IP核(新思科技、Cadence),韓國三星和臺(tái)積電壟斷先進(jìn)制程代工,中國大陸在成熟制程和封測(cè)領(lǐng)域快速崛起。地緣政治加速了技術(shù)自主化進(jìn)程,歐盟投資430億歐元發(fā)展本土芯片制造,中國28nm全國產(chǎn)化生產(chǎn)線已建成投產(chǎn)。開源芯片架構(gòu)RISCV的興起帶來新變數(shù),阿里平頭哥推出的無劍600系列平臺(tái)使定制芯片開發(fā)成本降低50%。
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